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六氟化硫
包装：10L、15、40
纯度：99.995%（4.5N）
净重：10kg、20kg、50kg
产品详情
| 项目名称 | 纯度指标（%） | ||
| 六氟化硫 | ≥99.999 | ≥99.99 | |
| 杂质含量（ppm） | 空气（Air） | ≤5 | ≤30 |
| 水（H20） | ≤1 | ≤1 | |
| 四氟化碳（CF4） | ≤4 | ≤30 | |
| 酸度（Acidity） | ≤0.1 | ≤0.1 | |
| 可水解氟化物（以HF计） | ≤0.1 | ≤0.2 | |
| 矿物油（Mineral oil） | ≤0.5 | ≤0.5 | |
产品用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源，不会产生含碳副产品；变压器中的绝缘介质；金属冶炼中的保护气氛；六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体；电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域；作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂；作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂；肝脏肿瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途。
